SEM-avbildning (vha sekundær- og tilbakespredte elektroner)
Sammendrag:
- Topografiavbildning av bruddflater - fraktografi.
- Topografiavbildning av fiber, pulver, partikler etc.
- Mikrostrukturavbildning i legeringer, f.eks. korn, faser, inneslutninger.
- Metallografi
- Overflatemorfologi
- Avbildninger av geologiske tynnslip (korn, faser, elementfordeling, porer.)
Detaljer:
Scanning Elektron Mikroskop (SEM) -bilder produseres ved å skanne en fokusert elektronstråle på overflaten av prøven. Hvis bildene dannes ved hjelp av elektroner med lav energi (sekundærelektronbilder) viser bildene topografikontrast, anvendes derimot elektroner med høg energi (tilbakespredte elektroner) viser bildene fasekontrast (Z-kontrast) og/eller kornkontrast. SEM har ca 1000X bedre bildeoppløsning enn lysmikroskop (oppløsning ca. nm mot ca. μm i henholdsvis SEM og lysmikroskop). SEM-bilder viser dermed ørsmå detaljer som f.eks. partikler på korngrenser, subkorn, striasjoner i bruddflater (utmatting), tynne sprekker/sjikt, asbestfiber, sub-mikron store (støv)partikler etc. Som regel må prøvene prepareres før SEM-undersøkelsen f.eks. planpolering (metallografi, geologiske tynnslip) og rensing i ultralydbad. Topografiavbildning av ikke elektriske ledende prøver kan utføres uten forutgående prøvepreparering.