SEM-kjemiske analyser

EDS analyse i SEM
EDS analyse i SEM
EDS analyse i SEM
EDS spektrum
Spektrum kjemisk analyse
Konsentrasjoner
Elektronbilde og røntgenkart

Sammendrag:

  • Lokale kjemiske punktanalyser - røntgenmikroanalyse
  • Linjeanalyse - linjeprofiler
  • Element - kart (X-ray mapping)
  • Kjemiske analyser av faser, mineraler, keramer, poymerer etc.
  • Lokale kjemiske analyser av korrosjonsavsetninger, partikler, pulver etc

Detaljer:

Elektronene i strålen som treffer prøven i SEM har høg energi, typisk 20keV. Når disse elektronene vekselvirker med atomene i prøven, genereres røntgenstråler med energier som er spesifikke for de forskjellige grunnstoffene. Deteksjon av disse røntgenstrålene vha EDS (Energi Dispersivt Spektrometer) benyttes til bestemmelse av prøvens kjemiske sammensetning lokalt (≈ 1μm3) der hvor strålen treffer prøven, røntgenmikrosanalyse. Kombinasjonen av SEM og EDS har mange anvendelsesområder: rask identifikasjon av legeringer, faseidentifikasjon, beleggsammensetningsanalyse, overflateforurensningsanalyse, korrosjonsvurderinger, asbestanalyser etc. Typiske industrier som bruker SEM / EDS: materialer, automotive, luftfart, mineraler, glass/keramikk/ildfaste materialer, medisinsk utstyr, halvleder, elektronikk.